當前位置：首頁 > 技術(shù)文章
主動隔震臺作為高精度實驗設(shè)備的“穩(wěn)定基石”，通過主動反饋控制技術(shù)，可實時抵消環(huán)境振動對精密儀器的影響，廣泛應(yīng)用于激光共聚焦顯微鏡、掃描電鏡及原子力顯微鏡等領(lǐng)域。其核心功能涵蓋低頻振動抑制、六自由度主動控制、環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計及智能監(jiān)測四大維度，...
晶圓水平儀是半導(dǎo)體制造中的高精度測量工具。其工作原理基于精密的傳感器和算法，能夠?qū)崟r測量晶圓表面的微小起伏，確保晶圓在加工過程中的水平狀態(tài)。晶圓水平儀的核心在于其高精度的傳感器。這些傳感器能夠捕捉到晶圓表面微小的傾斜或不平整，通過算法處理后將結(jié)果反饋給制造設(shè)備。制造設(shè)備再根據(jù)這些反饋信息對晶圓進行微調(diào)，確保其在整個加工過程中始終保持水平。在實際應(yīng)用中，晶圓水平儀的作用至關(guān)重要。在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓的表面平整度對芯片的制造工藝有著嚴格的要求。任何微小的瑕疵都可能導(dǎo)致芯片制造...
光學(xué)厚度測量儀是一種基于光學(xué)原理，利用光的反射、折射、干涉等特性，對物體厚度進行高精度測量的設(shè)備。隨著科技的不斷發(fā)展，光學(xué)厚度測量技術(shù)在材料科學(xué)、電子制造、涂層檢測等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。本文將介紹它的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域以及其優(yōu)勢。一、工作原理光學(xué)厚度測量儀的核心原理是基于光的傳播特性，特別是光在不同介質(zhì)中的反射、折射和干涉現(xiàn)象。常見的測量方式包括：1.反射法：該方法利用光線照射到物體表面后，部分光線被反射回探測器。通過分析反射光的強度和相位變化，可以間接推算出物體的厚...
膜厚測量儀是一種廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)和質(zhì)量控制領(lǐng)域的精密儀器，其主要功能在于準確測量薄膜、涂層或其他薄層材料的厚度。這種儀器在多個行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為產(chǎn)品的性能評估和質(zhì)量控制提供了有力支持。膜厚測量儀的工作原理基于多種物理現(xiàn)象，包括光學(xué)干涉、電磁感應(yīng)、渦流效應(yīng)等。光學(xué)干涉法通過測量光波在薄膜表面和底部之間反射和透射的相位差來計算厚度；電磁感應(yīng)法則利用測頭經(jīng)過非鐵磁覆層時流入鐵磁基體的磁通大小來測定覆層厚度；渦流法則通過測量高頻交流信號在測頭線圈中產(chǎn)生的電磁場變化...
晶圓表面缺陷檢測是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的一步，直接影響到芯片的性能、可靠性和良品率。隨著集成電路（IC）技術(shù)的不斷進步，晶圓尺寸的不斷縮小，缺陷檢測的難度也隨之增加。因此，精準、快速的晶圓表面缺陷檢測技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的研究熱點。一、晶圓表面缺陷的種類晶圓表面缺陷可以分為幾種類型，包括但不限于：1.顆粒污染：由環(huán)境中的塵?；蛟O(shè)備故障引起，可能導(dǎo)致電路短路或斷路。2.劃痕：由機械摩擦或不當操作引起，可能破壞晶圓的結(jié)構(gòu)或影響后續(xù)工藝。3.金屬顆粒：這些微小顆粒的存在可...