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在精密儀器、高級制造和科研實驗領(lǐng)域，微小的振動都可能影響設(shè)備的正常運行，甚至導(dǎo)致實驗數(shù)據(jù)失真或產(chǎn)品精度下降。為了解決這一問題，主動隔震臺應(yīng)運而生。它是一種能主動檢測并抵消外界振動的先進設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、地震觀測、航空航天...
HerzTS主動隔振臺介紹：在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù)，基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù)，原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn))，振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動隔振臺特點：1、在全部的6個自由度范圍...